商铺名称：广东金徕科技有限公司
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设备功能：
对材料表面进行清洗，活化改性，去除有机物，去除氧化物，去除微小颗粒；提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。
产品应用：
1、硅片、金属、玻璃、橡胶、高分子材料、PTFE、PCB等材料表面的清洁、处理，增强亲水性、粘接力。
2、清洁和表面活化，改善表面浸润性。
型 号
JL-VM200
等离子源系统
频 率
13.56MHz 射频
功 率
1000W可调
真空系统
真空腔体
材质
316L不锈钢
腔体内部尺寸(MM)
500*700*600 （宽*高*深)
极板有效尺寸(MM)
480*500 (宽*深)
托盘、极板
22层，水平式，活动可调节
腔体容积
200L
密封性
军工级焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵
真空管路
不锈钢管、不锈钢波纹管
真空计
1×105~1×10-1Pa
质量流量计
＜±1% FS
气路控制
标配2路（可定制）
真空度
5Pa-30pa
适用气体
流量范围
0-500SCCM（可调）
工艺气体
Ar、N?、O?、H?等等（可选）
外观参数
外形尺寸(MM)
1050*1700*1080(宽高深）
重 量
280KG
设施配置
电 力
五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定
