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商品详情
晶圆结合系统ASx系列全自动掩模机
详询请致电：吴工 132，4667.5433
ASx系列
SUSSs ASx系列为加工掩模和250nm至90nm技术节点提供了先进的烘烤、显影和清洁方法。其可靠性、稳定性和高性能使平台能够满足无损加工掩模的要求，用于 248 nm 和 193 nm 光刻工艺。
型号：ASC 5500、APB9500、ASP5500
亮点：
的第一遍清洗效果，从而延长光掩模的使用寿命
占地面积小（1200 x 1200 mm），低总体拥有成本
高可靠性和可用性
已售出超过250台Asx
最尖端的先进烘烤技术——适合最小14 nm节点及以上
一、先进的单基板清洗机ASC 5500
产品特点：
晶圆尺寸：4、6、8英寸
小片的专用工具
二、曝光后烘烤系统APB9500
标准、曝光后烘烤
符合 SEMI S2、S8、S13
CE认证
符合欧洲标准和机械指令 2006/42/EC、EMC- 2004/108/EC 和低电压指令 2006/95/EC
DIN ISO 14.644 2 级
SECS/GEM 200/300 mm 工厂自动化标准接口
三、显影系统ASP5500
采用A+喷嘴在整个掩模上连续涂布介质，使显影的冲击力最小化。
显影剂主动脱气，可防止微气泡的产生，实现低的缺陷计数。
将PEB升级为含APB的集群设备
高效的化学过滤（胺/酸）和精确的温、湿度控制
含SMIF装/卸载的全自动化
增强的工艺控制与监测功能
与曝光后烘烤系统APB9500结合，获得效果
德国SUSS MicroTec主要产品：
一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：
自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8、HP8热板
手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8
二、喷墨打印机
JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
三、光刻机、掩模对准机
全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手动：MJB4
四、测量系统
全自动:DSM8/200 Gen2
五、晶圆结合系统、自动贴片机
全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模设备
全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自动：HMx Serie
七、投影扫描光刻机
全自动：DSC300 Gen3
苏斯微SUSS MicroTec 晶圆键合系统
德国suss AS8匀胶机，HP8热板还有labspin8（labspin6）匀胶机
德国Polytec扫描仪、激光测振仪、光学头、光学振动测量系统主要型号：
激光振动计、光学测振仪
激光多普勒测振仪
激光测振计
（激光）多普勒振动传感器
非接触式振动传感器/测量仪
光学振动测量系统
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 扫描式激光测振仪：PSV-500-B增强型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪 ：MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
MSA-100-3D显微式测振仪
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec已停产的型号（具体停产时间可能因产品线更新而异）：
【1. 激光测振仪（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型号，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （较老版本）
RSV-150 （远程振动传感系统，部分功能由新系统替代）
【2. 工业传感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （旧版激光位移传感器）
ILD 2200 （早期型号，后续被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （旧版光学距离传感器）
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 （扫描式激光测振仪，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些旧型号）
韩国Allsensor压力变送器、压力传感器、数字压力表、液位开关
完整型号：
P201DHV0001MMPD、P204GH0010MPAM
P601GH0010MPET、P601SGH01MPTT、P601NGH01MPTT
PS101DM0015KAD、PS101DM0012KAD、PS101M0015KDAD、PS100M003KGID
P801HV0001MDAD、P400GH0010MPAT
【一】液位计：HT100、HI4200（电容式液位传感器），适用于工业液体监测
液位开关系列：LS400、L201、L101、L102、L103、LT301、D400TK、HI 4200
有防爆认证的压力传感器：
P603DH-03PG-J1EKT1、P601、P400、P400S、P601S
【二】压力传感器系列：
P206、P701、P604N、P201、P201S、P204、P203
P601N、P601RN、P601L1、P301、P202、P201D、PS101、PS100、HI4200
【三】温度传感器：
T300H0100CPET、T300RH0100CPRT、T500A0100CPE、T200H0100CPET、T203H0100CPET、T204H0100CPET、T105H0100CP、T150、HI4200数显表
【四】液位传感器、液位变送器系列：
LS400N0000TT、L201DHL4000HMFT、L101GHL1000HPAC、L102GHL1000HPAT、L103GHL1000HPBC、LT301N1000MST、D400TKXXX
【五】食品行业用压力传感器：
P601SGH0010MPUT防爆压力传感器
P400SGH0010MPAT防爆压力传感器
P201SGH0010MPAD隔膜压力传感器
【六】隔膜阀
FFS系列、FCS系列、EFS系列、PFS系列、PES系列、DFS系列、RFS系列
RBS50系列、RBS80系列、DSS系列、DSI系列、STS系列、SHS系列、DRD系列、FTS系列
P601GH0010MPET、P801HV0001MDAD、P601SGH0010MPTT/1.5S/316L/DT、PS101M0015KDAD
详询请致电：吴工 132，4667.5433
ASx系列
SUSSs ASx系列为加工掩模和250nm至90nm技术节点提供了先进的烘烤、显影和清洁方法。其可靠性、稳定性和高性能使平台能够满足无损加工掩模的要求，用于 248 nm 和 193 nm 光刻工艺。
型号：ASC 5500、APB9500、ASP5500
亮点：
的第一遍清洗效果，从而延长光掩模的使用寿命
占地面积小（1200 x 1200 mm），低总体拥有成本
高可靠性和可用性
已售出超过250台Asx
最尖端的先进烘烤技术——适合最小14 nm节点及以上
一、先进的单基板清洗机ASC 5500
产品特点：
晶圆尺寸：4、6、8英寸
小片的专用工具
二、曝光后烘烤系统APB9500
标准、曝光后烘烤
符合 SEMI S2、S8、S13
CE认证
符合欧洲标准和机械指令 2006/42/EC、EMC- 2004/108/EC 和低电压指令 2006/95/EC
DIN ISO 14.644 2 级
SECS/GEM 200/300 mm 工厂自动化标准接口
三、显影系统ASP5500
采用A+喷嘴在整个掩模上连续涂布介质，使显影的冲击力最小化。
显影剂主动脱气，可防止微气泡的产生，实现低的缺陷计数。
将PEB升级为含APB的集群设备
高效的化学过滤（胺/酸）和精确的温、湿度控制
含SMIF装/卸载的全自动化
增强的工艺控制与监测功能
与曝光后烘烤系统APB9500结合，获得效果
德国SUSS MicroTec主要产品：
一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：
自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8、HP8热板
手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8
二、喷墨打印机
JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
三、光刻机、掩模对准机
全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手动：MJB4
四、测量系统
全自动:DSM8/200 Gen2
五、晶圆结合系统、自动贴片机
全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模设备
全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自动：HMx Serie
七、投影扫描光刻机
全自动：DSC300 Gen3
苏斯微SUSS MicroTec 晶圆键合系统
德国suss AS8匀胶机，HP8热板还有labspin8（labspin6）匀胶机
德国Polytec扫描仪、激光测振仪、光学头、光学振动测量系统主要型号：
激光振动计、光学测振仪
激光多普勒测振仪
激光测振计
（激光）多普勒振动传感器
非接触式振动传感器/测量仪
光学振动测量系统
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 扫描式激光测振仪：PSV-500-B增强型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪 ：MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
MSA-100-3D显微式测振仪
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec已停产的型号（具体停产时间可能因产品线更新而异）：
【1. 激光测振仪（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型号，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （较老版本）
RSV-150 （远程振动传感系统，部分功能由新系统替代）
【2. 工业传感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （旧版激光位移传感器）
ILD 2200 （早期型号，后续被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （旧版光学距离传感器）
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 （扫描式激光测振仪，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些旧型号）
韩国Allsensor压力变送器、压力传感器、数字压力表、液位开关
完整型号：
P201DHV0001MMPD、P204GH0010MPAM
P601GH0010MPET、P601SGH01MPTT、P601NGH01MPTT
PS101DM0015KAD、PS101DM0012KAD、PS101M0015KDAD、PS100M003KGID
P801HV0001MDAD、P400GH0010MPAT
【一】液位计：HT100、HI4200（电容式液位传感器），适用于工业液体监测
液位开关系列：LS400、L201、L101、L102、L103、LT301、D400TK、HI 4200
有防爆认证的压力传感器：
P603DH-03PG-J1EKT1、P601、P400、P400S、P601S
【二】压力传感器系列：
P206、P701、P604N、P201、P201S、P204、P203
P601N、P601RN、P601L1、P301、P202、P201D、PS101、PS100、HI4200
【三】温度传感器：
T300H0100CPET、T300RH0100CPRT、T500A0100CPE、T200H0100CPET、T203H0100CPET、T204H0100CPET、T105H0100CP、T150、HI4200数显表
【四】液位传感器、液位变送器系列：
LS400N0000TT、L201DHL4000HMFT、L101GHL1000HPAC、L102GHL1000HPAT、L103GHL1000HPBC、LT301N1000MST、D400TKXXX
【五】食品行业用压力传感器：
P601SGH0010MPUT防爆压力传感器
P400SGH0010MPAT防爆压力传感器
P201SGH0010MPAD隔膜压力传感器
【六】隔膜阀
FFS系列、FCS系列、EFS系列、PFS系列、PES系列、DFS系列、RFS系列
RBS50系列、RBS80系列、DSS系列、DSI系列、STS系列、SHS系列、DRD系列、FTS系列
P601GH0010MPET、P801HV0001MDAD、P601SGH0010MPTT/1.5S/316L/DT、PS101M0015KDAD
