AD12手动显影机苏斯微SUSS MicroTec
AD12手动显影机苏斯微SUSS MicroTec
详询请致电：吴工 132，4667.5433

12英寸喷淋显影系统
AD12系统可以满足所有最新的喷淋显影技术的需求，最大可用于直径12英寸的圆片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。
也可以选装晶圆清洗模块。
亮点：
凭借多样的喷液技术，在工艺通用性方面表现出色
专为水基工艺而设计
高安全性标准
介绍：
一、卓越的灵活性
AD12通过使用优化的卡盘能够处理许多不同种类的基材，从而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材（如InP、GaAs）也能被安全地处理。特殊的工具和广泛的易于调整的工艺参数使AD12适用于许多涉及水介质的工艺应用。由于能够对参数进行编程，如步进时间、旋转速度、加速和减速、点胶臂位置和旋转运动，该系统可以优化工艺流程，从而获得可重复的、稳定的工艺结果。AD12配备了SUSS MicroTec公司先进的点胶技术，有效地支持开发和清洗。
二、复杂的喷点技术
AD12为不同的工艺需求提供了广泛的喷点技术。可以运行多种工艺：从简单的水坑或喷雾显影，到需要浸泡和最后冲洗的水坑点胶，再到需要高压将抗蚀剂和金属升起的升华。上述所有的喷点技术都可以在AD12的喷点臂上配置。
三、智能溶剂型介质系统
AD12是为处理水基介质的特殊需求而定制的。所有与工艺化学品接触的部件都由不易受影响的材料制成。排水口可以连接到室内排水口或废物罐。
介质被安全地储存在配备有排气接口的介质库中，并由渗漏检测器加以保护。流量控制系统和压力调节器管理介质。可以选择控制介质温度，以确保工艺效果。可以安装介质的再循环系统，以减少整个介质的消耗。
四、操作简单、安全
AD12易于操作和维护。只需按下一个按钮，就可以调用工艺参数和介质数据。可编程的配方加速了工作流程，促进了重复性。所有部件都很容易接触到，以方便操作和维护工具。此外，该工具的设计主要侧重于操作员的安全。带有自动安全玻璃门的密封工艺室确保了封闭的工艺环境，便于对工艺进行监控。联锁传感器保证了工具的安全运行。

德国SUSS MicroTec主要产品：
一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：
自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8、HP8热板
手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8
二、喷墨打印机
JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
三、光刻机、掩模对准机
全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手动：MJB4
四、测量系统
全自动:DSM8/200 Gen2
五、晶圆结合系统、自动贴片机
全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模设备
全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自动：HMx Serie
七、投影扫描光刻机
全自动：DSC300 Gen3
苏斯微SUSS MicroTec      晶圆键合系统   
德国suss AS8匀胶机，HP8热板还有labspin8（labspin6）匀胶机


德国Polytec扫描仪、激光测振仪、光学头、光学振动测量系统主要型号：
激光振动计、光学测振仪
激光多普勒测振仪
激光测振计
（激光）多普勒振动传感器
非接触式振动传感器/测量仪
光学振动测量系统
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 扫描式激光测振仪：PSV-500-B增强型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪 
MSA-600 显微式激光测振仪 ：MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
MSA-100-3D显微式测振仪 
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪

关于 Polytec已停产的型号（具体停产时间可能因产品线更新而异）：
【1. 激光测振仪（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型号，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （较老版本）
RSV-150 （远程振动传感系统，部分功能由新系统替代）
【2. 工业传感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （旧版激光位移传感器）
ILD 2200 （早期型号，后续被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （旧版光学距离传感器）
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 （扫描式激光测振仪，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些旧型号）