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商品详情
代理德国苏斯微SUSS MicroTec喷墨打印机、涂胶机与显影机、光刻机、贴片机、俺膜机
ACS300 Gen3自动涂胶与显影机
详询请致电：吴工 132，4667.5433
ACS300 Gen3自动涂胶与显影机：用于先进封装应用的强大解决方案
ACS300 Gen3作为模块化系统，是为满足量产环境而专门设计的。它提供了复杂的涂胶、显影和烘烤功能，可轻松地适应各种工艺。其最大程度的工艺控制，有效地支持广泛的使用领域。结合这一优点，再加上有8个旋涂器模块，该系统仍然是市面上占地面积最小的系统；这些品质都有利于减小购置成本，使得该设备对于任何具有挑战性的先进封装应用(如圆片级芯片封装、扇出圆片级封装、铜柱倒装芯片封装和3D封装)都不可或缺。
亮点：
占地面积小
高效的化学品处理
灵活的工艺配置
高吞吐量的能力
稳定的工艺结果
介绍：
1、一个工具适用于所有先进的包装应用
通过在一个系统中提供多种工艺技术，如光阻剂、聚酰亚胺和PBO涂层，ACS300 Gen3提供了高效率。它还为每个模块提供了多达五种抗蚀剂或四种显影剂的能力，以实现的工艺灵活性。此外，通用的热板设计消除了对不同抗蚀剂或PI类型的特定热板的需要。ACS300 Gen3允许同时处理200和300毫米的晶圆，而不需要进行机械转换。
2、一致的过程监控导致高产量
ACS300 Gen3可以实现高效的模块堆叠，从而节省了洁净室中昂贵的空间。多达12个模块可以方便地在三层模块系统中相互排列，而该工具的多种节省化学品的功能实现了进一步的节约。无论是SUSS MicroTec公司专有的GYRSET技术、新颖的分配技术还是化学品再循环系统，该工具都能经济地使用化学品，并符合最严格的可持续发展标准。
3、在吞吐量方面表现出色
当使用可选的第二个机器人系统时，ACS300 Gen3在三步流程中达到了高达240 wph的吞吐率。一个先进的过程控制系统优化了处理时间：调度算法可以有选择地交换，以确保瓶颈步骤的时间段得到充分的利用。此外，诸如在高温下的显影剂和流动模式的特点也减少了加工时间。
4、一致的过程监控导致高产量
使ACS300 Gen3脱颖而出的是其高度的过程控制。它可以连续记录所有相关参数的过程数据，如温度、流量、压力、体积、清洗率等。数据记录允许精确调整过程参数、可重复的结果和快速识别潜在的薄弱点。过程变得更加稳定和可重复，产量也可以显著提高
德国SUSS MicroTec主要产品：
一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：
自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8、HP8热板
手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8
二、喷墨打印机
JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
三、光刻机、掩模对准机
全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手动：MJB4
四、测量系统
全自动:DSM8/200 Gen2
五、晶圆结合系统、自动贴片机
全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模设备
全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自动：HMx Serie
七、投影扫描光刻机
全自动：DSC300 Gen3
苏斯微SUSS MicroTec 晶圆键合系统
德国suss AS8匀胶机，HP8热板还有labspin8（labspin6）匀胶机
德国Polytec扫描仪、激光测振仪、光学头、光学振动测量系统主要型号：
激光振动计、光学测振仪
激光多普勒测振仪
激光测振计
（激光）多普勒振动传感器
非接触式振动传感器/测量仪
光学振动测量系统
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 扫描式激光测振仪：PSV-500-B增强型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪 ：MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
MSA-100-3D显微式测振仪
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec已停产的型号（具体停产时间可能因产品线更新而异）：
【1. 激光测振仪（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型号，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （较老版本）
RSV-150 （远程振动传感系统，部分功能由新系统替代）
【2. 工业传感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （旧版激光位移传感器）
ILD 2200 （早期型号，后续被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （旧版光学距离传感器）
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 （扫描式激光测振仪，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些旧型号）
ACS300 Gen3自动涂胶与显影机
详询请致电：吴工 132，4667.5433
ACS300 Gen3自动涂胶与显影机：用于先进封装应用的强大解决方案
ACS300 Gen3作为模块化系统，是为满足量产环境而专门设计的。它提供了复杂的涂胶、显影和烘烤功能，可轻松地适应各种工艺。其最大程度的工艺控制，有效地支持广泛的使用领域。结合这一优点，再加上有8个旋涂器模块，该系统仍然是市面上占地面积最小的系统；这些品质都有利于减小购置成本，使得该设备对于任何具有挑战性的先进封装应用(如圆片级芯片封装、扇出圆片级封装、铜柱倒装芯片封装和3D封装)都不可或缺。
亮点：
占地面积小
高效的化学品处理
灵活的工艺配置
高吞吐量的能力
稳定的工艺结果
介绍：
1、一个工具适用于所有先进的包装应用
通过在一个系统中提供多种工艺技术，如光阻剂、聚酰亚胺和PBO涂层，ACS300 Gen3提供了高效率。它还为每个模块提供了多达五种抗蚀剂或四种显影剂的能力，以实现的工艺灵活性。此外，通用的热板设计消除了对不同抗蚀剂或PI类型的特定热板的需要。ACS300 Gen3允许同时处理200和300毫米的晶圆，而不需要进行机械转换。
2、一致的过程监控导致高产量
ACS300 Gen3可以实现高效的模块堆叠，从而节省了洁净室中昂贵的空间。多达12个模块可以方便地在三层模块系统中相互排列，而该工具的多种节省化学品的功能实现了进一步的节约。无论是SUSS MicroTec公司专有的GYRSET技术、新颖的分配技术还是化学品再循环系统，该工具都能经济地使用化学品，并符合最严格的可持续发展标准。
3、在吞吐量方面表现出色
当使用可选的第二个机器人系统时，ACS300 Gen3在三步流程中达到了高达240 wph的吞吐率。一个先进的过程控制系统优化了处理时间：调度算法可以有选择地交换，以确保瓶颈步骤的时间段得到充分的利用。此外，诸如在高温下的显影剂和流动模式的特点也减少了加工时间。
4、一致的过程监控导致高产量
使ACS300 Gen3脱颖而出的是其高度的过程控制。它可以连续记录所有相关参数的过程数据，如温度、流量、压力、体积、清洗率等。数据记录允许精确调整过程参数、可重复的结果和快速识别潜在的薄弱点。过程变得更加稳定和可重复，产量也可以显著提高
德国SUSS MicroTec主要产品：
一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：
自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8、HP8热板
手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8
二、喷墨打印机
JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
三、光刻机、掩模对准机
全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手动：MJB4
四、测量系统
全自动:DSM8/200 Gen2
五、晶圆结合系统、自动贴片机
全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模设备
全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自动：HMx Serie
七、投影扫描光刻机
全自动：DSC300 Gen3
苏斯微SUSS MicroTec 晶圆键合系统
德国suss AS8匀胶机，HP8热板还有labspin8（labspin6）匀胶机
德国Polytec扫描仪、激光测振仪、光学头、光学振动测量系统主要型号：
激光振动计、光学测振仪
激光多普勒测振仪
激光测振计
（激光）多普勒振动传感器
非接触式振动传感器/测量仪
光学振动测量系统
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 扫描式激光测振仪：PSV-500-B增强型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪 ：MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
MSA-100-3D显微式测振仪
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec已停产的型号（具体停产时间可能因产品线更新而异）：
【1. 激光测振仪（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型号，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （较老版本）
RSV-150 （远程振动传感系统，部分功能由新系统替代）
【2. 工业传感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （旧版激光位移传感器）
ILD 2200 （早期型号，后续被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （旧版光学距离传感器）
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 （扫描式激光测振仪，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些旧型号）
