ANATECH LTD的离子电源主要功能包括离子轰击清洗和表面刻蚀活化。
离子电源利用气体放电原理，将工件放置在气体放电形成的等离子体中，通过放电粒子对工件表面进行轰击。这种“干式清洗过程具有绿色环保的特点，可以消除工件表面的低分子物质，并进行表面刻蚀和活化处理。离子轰击能够破坏工件表面的晶格结构，增加表面的微观粗糙度，提高表面的极化率和附着力，有利于薄膜与基底之间的机械锁紧力。
离子电源在多个领域有广泛应用，包括:
●薄膜沉积:通过离子轰击增加表面粗糙度，提高薄膜与基底的附着力。
●半导体制造:在半导体工艺中，离子注入机是关键设备，用于精确控制杂质分布，适用于亚微米线条的掺杂。
●纺织:用于纺织品的前处理，改善染色和印花效果。
●精密机械:提高零件表面的粗糙度和附着力，增强机械性能。