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商品详情
ASML 4022.470.6291进口
ASML 4022.470.6291进口
ASML 4022.470.6291进口
参数详解
ASML 4022.470.6291是ASML公司生产的一款关键设备组件，被广泛应用于半导体制造领域。以下是该组件的主要参数介绍：
基本参数
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型号：ASML 4022.470.6291
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类型：光学系统组件
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尺寸：约320mm x 240mm x 150mm（具体尺寸可能因版本而异）
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重量：约5.2公斤
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工作电压：24V DC
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功耗：最大50W
光学性能
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波长范围：193nm（深紫外光）
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数值孔径：0.93
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分辨率：支持45nm及以下工艺节点
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透过率：大于95%
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光学均匀性：优于99.5%
环境要求
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工作温度：20°C至25°C
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存储温度：-20°C至60°C
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湿度范围：20%至80% RH（无凝露）
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洁净度等级：ISO Class 5（相当于旧标准的Class 100）
机械性能
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抗震性：可承受最大1.0G的加速度
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安装方式：模块化安装，支持快速更换
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连接接口：标准光纤接口及电气接口
兼容性
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设备兼容：主要适用于ASML的TWINSCAN系列光刻机，具体型号包括TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:1950i等。
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软件兼容：支持ASML的YieldStar、ASML Brion等软件平台，确保无缝集成和高效运行。
其他特性
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冷却系统：内置高效冷却系统，确保长时间稳定运行
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寿命：设计使用寿命超过10,000小时
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维护要求：定期清洁和校准，建议每6个月进行一次全面维护
ASML 4022.470.6291凭借其卓越的光学性能、稳定的机械特性以及高度的兼容性，成为半导体制造过程中不可或缺的一部分。其高分辨率和大透过率确保了芯片制造的高精度和高效率，为半导体行业的发展提供了重要支持。
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