突破硬质材料极限：石英微流控芯片CO2激光雕刻机实现石英微流控芯片精密制造
在单细胞分析、高通量PCR等领域，石英玻璃微流控芯片因其超高透光性、耐高温和化学惰性成为，但传统光刻蚀工艺成本高、周期长。我司工业级CO2激光雕刻切割机，专为石英（SiO?）微流控芯片开发，通过脉冲能量精密控制技术，实现微通道的无锥度、无微裂纹雕刻，助力生物医药企业攻克硬质材料加工瓶颈。

石英加工核心技术突破
1. 零崩边精细雕刻
采用150W高功率CO2激光配合多级脉冲调制，瞬间气化石英表层（吸收峰值10.6μm），热影响区＜15μm。通道侧壁垂直度达88°±1°，表面粗糙度Ra＜0.5μm，消除流体残留风险，满足细胞级实验环境要求。

2. 深宽比动态优化
实现0.1-2mm厚度石英的无锥度穿透雕刻：
微通道宽深比1:10（最小线宽30μm）
切割崩边尺寸＜5μm，强度损失率＜3%
适配微混合器、电泳分离芯片等复杂结构

3. 全流程无污染加工
非接触式加工避免切削液污染，集成氮气辅助吹扫系统，防止熔融石英重凝。加工后透光率衰减＜2%（@350nm紫外波段），保障荧光检测精度。

传统工艺价值
? 效率飞跃：单芯片加工时间缩短至8分钟（较光刻工艺提速90%）
? 成本直降70%：无需掩模版、真空镀膜
? 良率突破：芯片功能合格率＞99%（ISO 13485医疗器械标准）

智能闭环生产系统
红外热像仪实时监控加工温度，智能调节脉冲频率防热裂
全密封舱体配备负压除尘+HEPA过滤，捕获纳米级硅粉尘（符合OSHA Class II标准）
高精度CCD视觉定位+自动对焦，重复定位精度±3μm

赋能微流控应用
从基因测序芯片、器官芯片透明基底，到微反应器光学窗口，本设备提供“设计-雕刻-切割-封接”全链条解决方案。通过模块化扩展，兼容硼硅玻璃、蓝宝石等硬脆材料加工。

让石英微流控芯片制造更高效、更可靠！