MKS压力传感器主要用于半导体制造、真空系统控制及精密气体测量等领域，具有高精度测量特性。例如，MKS 979B-01-0013真空传感器属于Baratron®系列，可应用于半导体生产的真空环境控制，实现精密压力监测。
核心功能
●高精度测量:在真空到正压的广泛压力范围内(如10~5000 Torr), 提供稳定可靠的测量数据，适用于半导体工艺等对精度要求极高的场景。
●抗干扰设计:采用特殊结构，可在极端电磁干扰环境中保持信号稳定性,适用于工业自动化场景。
●快速响应:部分型号支持高频压力变化监测，适用于动态控制系统(如气动系统压力调节)。
典型应用
1.半导体制造:实时监测真空腔室压力，保障晶圆9加工精度。
2.真空系统控制:调节真空设备压励参数，优化气体传输效率。
3.精密气体测量:检测气体压力波动，应用于气体分析仪器。