HORIBA流量控制器的主要功能是精确控制气体质量流量，通过测量和调节气体流量确保工业过程的稳定性与安全性。其核心作用体现在以下几个方面:
核心功能
采用热式质量流量计原理，通过测量气体流过加热元件时的温度变化计算流量，不受压力和温度变化影响，实现高精度质量流量测量。
技术特点
●高精度测量:提供稳定可靠的流量数据，适应动态工业过程控制需求。
●快速响应:响应时间小于1秒，适合需要快速调节的场景。
●耐腐蚀材料:适用于腐蚀性气体(如半导体制造中的腐蚀性化学气体)。
●自动调零:自动补偿零点漂移，保持长期测量精度。
应用领域

广泛应用于半导体制造、真空镀膜、环境监测、化工、生物医药等领域，确保产品质量和生产安全。