射频电源(RF Power Supply)是一种将低频电能转换为高频电场能量的设备，其工作频率通常在射频范围(3kHz至300GHz), 核心功能是为特定应用提供稳定的高频能量。
核心功能
1.高频能量转换:通过高频振荡电路将直流电转化为高频交流电，输出功率稳定的高频电场，适用于等离子体生成、射频感应加热等场景。
2.功率放大与匹配:采用功率放大器放大高频信号，并通过阻抗匹配器调节输出阻抗，确保能量高效传输至负载设备。
3.信号检测与控制:实时监测负载电压/电流信号，反馈至控制电路以调整工作状态,保障设备稳定运行。
典型应用
1. 半导体制造:用于刻蚀设备、薄膜沉积设备，激发等离子体反应实现材料加工。
2.新能源领域:太阳能电池板制造中促进材料表面改性，LED生产中生成紫外线光源。
3.工业加工:高频感应加热、等离子体切割等。
4. 通信与雷达:驱动天线系统，实现信号收发控制。
射频电源的性能直接影响等离子体质量、加工效率及设备稳定性，需满足高功率、高效率及精准控制要求。