美国FerroTec机械密封

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     美国Ferrotec公司成立于1980年，拥有30多年开发和生产精密密封件的经验，为世界上最苛刻的应用问题提供了密封的解决方案。Ferrotec提供了非常紧凑的小体积密封。在改装的情况下，有时可用的轴向或径向空间都非常有限，那么紧凑型的密封件就成了唯一的选择。而在新的设计中，选择紧凑型的密封件往往有利于整个系统的布局。现在 Ferrotec 是一家全球性的集团公司，通过深入的公司间协作，来研究、制造和营销多元化的产品及服务。Ferrotec 的 Temescal 系统是业界先进的电子束蒸发镀膜系统，主要用于金属化和制造化合物半导体。

产品范围：

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美国FerroTec GT6系列工业用密封件简介：

GT6系列工业用密封件，通常为低压风机，鼓风机，立式泵提供气密密封。这些应用包括操作者可以阻止在大气中释放VOC的氢碳处理，核应用以及其他类似的关键过程，其中消除污染物进入或过程气体的排放是至关重要的。

美国Ferrotec多轴密封：

Ferrotec提供晶圆处理设备的多轴密封装置。这些密封装置提供了极高的可重复性，且为零齿隙。直线运动常用于悬臂式轴承配置，可以优化超高真空的应用。与磁性耦合方式不同，多轴密封在每个轴上都配置了一个连续轴来传递扭矩到负载，因此抗扭刚度大化，且对于任何超高真空的晶圆处理设备都可以提供大的扭矩传递。

多轴向密封装置的典型应用包括：

晶圆处理

具有内固定轴的CVD（化学气相沉积法）晶圆的旋转

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