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商品详情
涡轮分子泵特点：
?无油的超真空环境
?机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同
?可排稀有气体和腐蚀性气体
?可连续排大流量气体
?可工作的压力范围宽。（～10-10Pa）
产品优势：
■将电源控制器与分子泵一体化
■省电设计
■轻巧设计
■对应防护等级IP54
■多种通信接口
■对应国际规格
CE/NRTL/SEMI-S2
应用场合：
?半导体制造设备
?FPD制造设备
?太阳能电池制造设备
?玻璃/镜片等光学元件加工
?薄膜加工
?加速器/宇宙环境模拟设备
技术参数：
| 型号 | TGkine3300M | TGkine3300M-40 | TGkine3400M | |
| 吸气口法兰 |
VG300 ISO-B320 |
VG300 ISO-B320 |
VG350 | |
| 排气口法兰 | KF40/KF50 | |||
| 排气速度 | N2(L/s) | 3300 | ||
| N2(附带金属防护网) (L/s) | 3100 | |||
| H2(L/s) | 2700 | |||
| 最大压缩比 | N2 | >1×108 | ||
| H2 | 3×103 | |||
| 极限压力 | VG?ISO-B(Pa) | <2×10-7 | ||
| VG?ISO-B(Torr) | <7.5×10-9 | |||
| 最大气体流量 | N2 (sccm) | 2100 | 4000 | 2100 |
| 启动时间 | (min) | ≦11 | ||
| 停止时间 | (min) | ≦13 | ||
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 170/1.28※1 | ||
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧2000 | ||
| 输入电压 | (V) |
AC200-240V -15%+10% |
||
| 相数 | 单相 | |||
| 频率 | (Hz) | 50/60 | ||
| 电流 | (A) | Max. 5.3 | ||
| 所需电力 | (kVA) | Max. 0.9 | ||
|
通信接口 （规格可选） |
Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet | |||
| 防护等级 | IP54 | |||
| 安装角度 | 任意 | |||
| 重量 | VG?ISO-B（kg） | 69 | ||
| 控制器型号 | 控制器与分子泵一体型 | |||
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特殊型号 (详情请咨询销售人员) |
防腐蚀型 | |||
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