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这台机床的性能达到了30nm部件形成精度和1nm级ra表面粗糙度,仅从加工精度上讲比美国LLNL的LODTM和DTM-3,英国CUPE的OAGM2500还要高出近8倍。即使这样的超高精度的机床建造成本高昂、应用场景并不广泛,日本仍然