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瑞士丹青Compact WLI白光干涉微观形貌及粗糙度仪是用于记录3D形貌光学测量技术,其分辨率高达纳米级。测量点平行采集和处理,大面积的高度信息可以在很短时间内采集。研究和质量管理过程中的典型应用有:物体表面的不同粗糙度特性(晶圆结构、镜面、玻璃、金属等)、确定高度变化以及曲面的精密测量(如微透镜等)。




