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日本本多超声波半导体清洗机W-357BM-1200F
| 模型 |
W-357BM-600F |
W-357BM-1200F |
| 振荡器型号 | W-357BM-600 | W-357BM-1200 |
| 允许输入 | 600W | 1200W |
| 额定驱动频率 | 1MHz | |
|
有效辐射面 W×Dmm |
135×160 | 272 x 154 |
|
外形尺寸 W x D x Hmm(不包括布线和管道) |
250×220×68 | 355 x 245 x 68 |
| 材料 | 板材:SUS316L 表面电解抛光 | |
| 大量的 | 3.3公斤 | 7公斤 |
| 对应晶圆尺寸 | 6英寸 | 8英寸 |
| 振荡器线长 | 5m | 5米×2 |